[发明专利]一种双层直线电机驱动的XY运动平台

权利要求书

1.一种双层直线电机驱动的XY运动平台，其特征在于，包括底板组件(1)、X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)、底板(5)、X轴光栅尺读数头(6)、X轴光栅尺读数头角架(7)、X轴精密运动导轨(8)、Y轴直线电机动子(9)、Y轴直线电机定子及壳体(10)、Y轴直线电机安装座(11)、Y轴光栅尺读数头(12)、Y轴光栅尺读数头角架(13)、X轴光栅尺架(14)、X轴运动连接架(15)、Y轴光栅尺架(16)、Y轴运动连接架(17)、Y轴精密运动导轨(18)、X轴直线电机动子(19)、X轴直线电机安装座(20)、X轴直线电机定子及壳体(21)；

其中，底板组件(1)包括底板(5)，在底板5(上)安装有X轴直线电机组件(2)、运动平台组件(3)、Y轴直线电机组件(4)，X轴直线电机组件(2)通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴安装平面上，Y轴直线电机组件(4)通过安装螺钉安装在底板(5)的Y轴安装平面上；

X轴光栅尺读数头角架(7)通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面的外侧面；X轴光栅尺读数头(6)通过安装螺钉安装在X轴光栅尺读数头角架(7)的相应位置；X轴精密运动导轨(8)和Y轴精密运动导轨(18)均由固定轨和滑动轨组成，X轴精密运动导轨(8)中的固定轨通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面上；

X轴直线电机安装座(20)通过安装螺钉安装在底板(5)的X轴直线电机的安装平面上；X轴直线电机定子及壳体(21)通过安装螺钉安装在X轴直线电机安装座(20)的安装平面上；X轴直线电机动子(19)安装在X轴直线电机定子及壳体(21)内；X轴直线电机动子(19)的外露端上开有连接X轴运动连接架(15)的连接孔；

X轴运动连接架(15)通过连接螺钉与X轴直线电机动子(19)相连接；X轴运动连接架(15)通过连接螺钉与X轴精密运动导轨(8)中的滑动轨相连接，可使X轴运动连接架(15)经X轴直线电机动子(19)的驱动沿X方向进行运动；通过安装螺钉将Y轴精密运动导轨(18)的固定轨安装在X轴运动连接架(15)的相应定位平面上；Y轴运动连接架(17)通过安装螺钉与Y轴精密运动导轨(18)的滑动轨相连接；Y轴运动连接架(17)的连接端通过安装螺钉与Y轴直线电机动子(9)相连接，可使Y轴运动连接架(17)经Y轴直线电机动子(9)的驱动沿Y方向进行运动；

Y轴直线电机安装座(11)通过安装螺钉安装在底板(5)的Y轴直线电机安装平面上；Y轴直线电机定子及壳体(10)通过安装螺钉安装在Y轴直线电机安装座(11)的安装平面上；Y轴直线电机动子(9)安装在Y轴直线电机定子及壳体(10)内；Y轴直线电机动子(9)的外露端上开有连接Y轴运动连接架(17)的连接孔。

2.如权利要求1所述的XY运动平台，其特征在于，运动平台组件(3)通过X轴精密运动导轨(8)的固定轨安装在底板(5)的X轴导轨的安装平面上。

3.如权利要求1-2中任意一项所述的XY运动平台，其特征在于，X轴精密运动导轨(8)和Y轴精密运动导轨(18)分别有两组。

4.如权利要求1-3中任意一项所述的XY运动平台，其特征在于，所述固定轨上设有安装螺钉穿过的安装孔。

5.如权利要求1-4中任意一项所述的XY运动平台，其特征在于，两组X轴直线电机动子(19)上下对称安装在X轴直线电机定子及壳体(21)内，并且两组Y轴直线电机动子(9)上下对称安装在Y轴直线电机定子及壳体(10)内。

6.如权利要求1-5中任意一项所述的XY运动平台，其特征在于，X轴直线电机组件(2)是普通直线电机，其动子只能沿X轴方向在一定范围内进行直线运动。

7.如权利要求1-6中任意一项所述的XY运动平台，其特征在于，Y轴直线电机组件(4)是自适应解耦式直线电机，其动子除沿Y轴方向在一定范围内进行直线运动外，还可以被动的在X轴方向在一定范围内进行任意的移动。

8.如权利要求1-7中任意一项所述的XY运动平台，其特征在于，该平台的运动精度是依据安装在X轴和Y轴方向的光栅尺进行精密测量与反馈，由计算机控制完成的。