[发明专利]用于背面EMMI失效分析的装置及失效分析方法无效
| 申请号： | 201210145127.3 | 申请日： | 2012-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN103389307A | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 蔡妮妮;方昭蒂;范加森 | 申请（专利权）人： | 上海华虹NEC电子有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01R31/308 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 张骥 |
| 地址： | 201206 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于背面EMMI失效分析的装置，包括一PVC电路板、一信号输入输出底座；所述PVC电路板的中心设置有一透明的有机玻璃片，有机玻璃片的四周设置有多个金属引脚；PVC电路板的四个角分别设置有电路板金属衬垫；每个金属引脚分别通过金属线连接一跳线接口，每个跳线接口通过金属线分别与四个电路板金属衬垫连接；所述信号输入输出底座包括座体，座体的四个角分别设置有底座金属衬垫，底座金属衬垫的位置与所述电路板金属衬垫的位置相对应。本发明能够使背面EMMI失效分析更加简单、快速和可靠地定位到失效点，只需要花费几个小时的时间就可以完成原先需要几个工作日才能完成的失效缺陷的定位。本发明还公开了一种背面EMMI失效分析方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 背面 emmi 失效 分析 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种用于背面EMMI失效分析的装置，其特征在于：包括一PVC电路板、一个起固定作用的信号输入输出底座；所述PVC电路板的中心设置有一透明的有机玻璃片，有机玻璃片的四周设置有多个金属引脚；PVC电路板的四个角分别设置有电路板金属衬垫；每个金属引脚分别通过金属线连接一跳线接口，每个跳线接口通过金属线分别与四个电路板金属衬垫连接，跳线接口用于实现金属引脚与任一电路板金属衬垫的导通；所述信号输入输出底座包括座体，座体的四个角分别设置有底座金属衬垫，底座金属衬垫的位置与所述电路板金属衬垫的位置相对应；当四个电路板金属衬垫分别与四个底座金属衬垫连接时，能够实现信号导通；所述座体的四个角分别设置有弹簧压扣；弹簧压扣用于实现PVC电路板与信号输入输出底座的固定连接；所述每个底座金属衬垫设置有信号接口，用于连接半导体参数分析仪。
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