[发明专利]一种晶圆盒清洗装置及其清洗方法有效
| 申请号： | 201210142935.4 | 申请日： | 2012-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN102658270A | 公开（公告）日： | 2012-09-12 |
| 发明（设计）人： | 李占斌;江瑞星;顾武强;刘娟 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/04 | 分类号： | B08B1/04;B08B7/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种晶圆盒清洗装置，用于清洗晶圆盒狭缝，该装置包括：具有若干排刷头的刷子以及连接所述刷子的固定装置，每排所述刷头围绕所述刷子的转轴设置并与一个所述晶圆盒狭缝对应，相邻刷头之间的距离与相邻狭缝间的距离匹配，使所述刷子在转动的过程中，所述晶圆盒狭缝内均有一排所述刷头伸入。本发明提供还提供了利用该晶圆盒清洗装置进行清洗的方法。本发明提供的晶圆盒清洗装置及其清洗方法，通过刷子上的刷头对晶圆盒的狭缝进行清扫，使附着在狭缝内的颗粒离开狭缝内表面，经过刷头清扫过的晶圆盒狭缝有易于利用去离子水进行再次清洗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆盒 清洗 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种晶圆盒清洗装置，用于清洗晶圆盒狭缝，其特征在于，包括：具有若干排刷头的刷子以及连接所述刷子的固定装置，每排所述刷头围绕所述刷子的转轴设置并与一个所述晶圆盒狭缝对应，相邻刷头之间的距离与相邻狭缝间的距离匹配，使所述刷子在转动的过程中，所述晶圆盒狭缝内均有一排所述刷头伸入。
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