[发明专利]提高超分辨相位板光斑性能的装置有效
| 申请号： | 201210138157.1 | 申请日： | 2012-05-04 |
| 公开（公告）号： | CN102681200A | 公开（公告）日： | 2012-09-19 |
| 发明（设计）人： | 查一昆;魏劲松;干福熹 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/48 | 分类号： | G02B27/48;G02B27/58;G02F1/35 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板、数值孔径NA=0.95的物镜、Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜，所述的三环纯相位型超分辨相位板的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为：φ1=0，φ2=π，φ3=0；所述的物镜与所述的三环纯相位型超分辨相位板紧贴，所述的Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜位于所述的物镜的焦平面，该Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜的厚度的选择范围为10~100nm，非线性饱和吸收薄膜的线性吸收系数和非线性吸收系数分别为α0＝5*107/m和β＝-2*10-2m/w。本发明进一步减小光斑、降低旁瓣、延长焦深。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 分辨 相位 光斑 性能 装置 | ||
【主权项】：
一种提高超分辨相位板光斑性能的装置，特征在于其构成：沿光束前进方向依次是三环纯相位型超分辨相位板(1)、数值孔径NA=0.95的物镜(2)、Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜(3)，所述的三环纯相位型超分辨相位板（1）的归一化半径为r1=0.13，r2=0.47，r3=1；三区的位相分别为：φ1=0，φ2=π，φ3=0；所述的物镜(2)与所述的三环纯相位型超分辨相位板(1)紧贴，所述的Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜(3)位于所述的物镜(2)的焦平面，该Sb2Te3非线性饱和吸收薄膜的厚度的选择范围为10~100nm，非线性饱和吸收薄膜的线性吸收系数和非线性吸收系数分别为α0＝5*107/m和β＝‑2*10‑2m/w。
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