[发明专利]一种两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结方法

摘要

本发明公开了一种两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结的方法，是通过以下工艺过程实现的：将装有一定量氧化镓（纯度为质量百分比99.999%）粉末的陶瓷舟置于长度为100cm的水平刚玉管式炉正中间，在距陶瓷舟20cm-25cm处放置镀金衬底，密闭管式炉抽真空到2×10-2-10-3Pa，Ar气保护下加热水平管式炉到900-1080oC后，通入200sccm的NH3气反应两小时，Ar气保护下自然冷却到室温，在衬底上得到淡黄色的产物。然后将沉积有淡黄色产物的衬底置于真空热蒸发装置上，沉积有淡黄色的产物的一面正对硫化锌源（纯度为质量百分比99.995%），源与衬底距离在1-2厘米，加热电流在100-180A，最后在衬底上产物变为深黄色。本发明所制备的为氮化镓/硫化锌纳米异质结，其特点是：用两步法制备了具有两种不同的异质结构，即纳米线状的核壳结构和糖葫芦状的异质结构。

主权项

一种通过两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结的方法，其特征在于所制备产物表面形貌有两种，一种是核壳结构的纳米线状，另一种是糖葫芦状的纳米异质结；同时通过以下途径实现：将装有一定量氧化镓（Ga2O3）粉末的陶瓷舟放置到水平管式炉内一定位置，在离陶瓷舟一定距离处放置产物收集衬底，密封水平管式炉后抽真空到2×10‑2‑10‑3Pa，然后通入Ar气,在Ar氛围中将水平管式炉升温到预设温度，停止通入Ar，通入预定流量的NH3气，反应两小时，最后Ar气保护下自然冷却到室温，在衬底上得到淡黄色产物；然后将衬底转移至真空热蒸发装置内，并在装置内部放置硫化锌源，将衬底上有沉积产物的一面正对硫化锌源，密封装置，抽真空，以一定的速率逐步增大加热电流直到预设值；反应结束后在衬底上有沉积产物的一面变为深黄色。