[发明专利]一种两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结方法

权利要求书

1.一种通过两步法制备氮化镓/硫化锌纳米异质结的方法，其特征在于所制备产物表面形貌有两种，一种是核壳结构的纳米线状，另一种是糖葫芦状的纳米异质结；同时通过以下途径实现：将装有一定量氧化镓（Ga₂O₃）粉末的陶瓷舟放置到水平管式炉内一定位置，在离陶瓷舟一定距离处放置产物收集衬底，密封水平管式炉后抽真空到2×10^-2-10^-3Pa，然后通入Ar气,在Ar氛围中将水平管式炉升温到预设温度，停止通入Ar，通入预定流量的NH₃气，反应两小时，最后Ar气保护下自然冷却到室温，在衬底上得到淡黄色产物；然后将衬底转移至真空热蒸发装置内，并在装置内部放置硫化锌源，将衬底上有沉积产物的一面正对硫化锌源，密封装置，抽真空，以一定的速率逐步增大加热电流直到预设值；反应结束后在衬底上有沉积产物的一面变为深黄色。

2.如权利要求1所述，其特征在于，产物合成在水平管式炉和真空热蒸发装置内进行，所使用原料为氧化镓（Ga₂O₃）粉末和硫化锌粉末或金属镓和硫化锌粉末。

3.如权利要求1所述，其特征在于，所用产物收集衬底可以是Si片、Mo片、石英片、SiC衬底或蓝宝石衬底。

4.如权利要求1所述，其特征在于，水平管式炉预设温度为900℃-1080℃。

5.如权利要求1所述，其特征在于，水平管式炉的预定NH₃气的流量是200sccm。

6.如权利要求1所述，其特征在于，在水平管式炉中距离装氧化镓粉末的陶瓷舟20cm-25cm处的衬底上得到氮化镓纳米线。

7.如权利要求1所述，其特征在于，真空热蒸发装置的预设加热电流100-180A。

8.如权利要求1所述，其特征在于，真空热蒸发装置中源与衬底之间的距离是1-2厘米。

9.如权利要求1所述，其特征在于，通过两步法最终在衬底上得到核壳结构的纳米线和糖葫芦状的异质结。