[发明专利]监控工件加工进程的监控装置

摘要

本发明涉及一种监控工件加工进程的监控装置，其包括光源、屏幕、相机模组及处理器。光源与加工装置相对静止。光源以固定入射角发射出一束入射光到该工件的微结构压印图案上，形成多束出射光。多束出射光照射到屏幕上，得到多个与该多束出射光一一对应的待比较光点。相机模组拍摄该多个待比较光点，得到待比较图像。该待比较图像包括与该多个待比较光点对应的多个待比较光点图像。该处理器内存储有一个标准图像，该标准图像包括多个标准光点。该处理器用于比较该多个待比较光点图像是否与对应的标准光点图像重合，以判断该加工装置的移动是否出现了偏位。该处理器还计算出该加工装置的偏位位移。该加工装置根据该处理器的计算结果调整加工进程。

主权项

一种监控工件加工进程的监控装置，用于监控一个加工装置在一个工件的表面加工出周期性的微结构压印图案的过程中，是否出现偏位，该微结构压印图案能够形成光栅；该监控装置包括一个光源、一个屏幕、一个相机模组及一个处理器；该光源能够随该加工装置一起移动，使得该光源与该加工装置相对静止；该光源用于以固定的入射角度发射出一束入射光到该微结构压印图案上，被衍射及干涉而形成多束出射光；该多束出射光照射到该屏幕上，得到多个与该多束出射光一一对应的待比较光点，该相机模组用于拍摄该多个待比较光点，得到一个待比较图像，该待比较图像包括与该多个待比较光点对应的多个待比较光点图像，该处理器内存储有一个标准图像，该标准图像包括多个标准光点图像，该处理器用于比较该多个待比较光点图像是否与对应的标准光点图像重合，若重合，则判断该加工装置的移动没有发生偏位，若不重合，则判断该加工装置的移动出现了偏位；该处理器还用于计算出该加工装置的偏位位移；该处理器用于与该加工装置电连接，并根据该处理器的计算结果调整该加工装置的移动。