[发明专利]高频电力分配装置以及使用其的基板处理装置

摘要

本发明涉及高频电力分配装置以及使用其的基板处理装置，将从高频电源输出的高频电力均等地分配来提供的高频电力分配装置(4a)具有：配电部件(30)，其将被输入的高频电力分支成多份；同轴传输线(35)，其由将配电部件(30)所分支的高频电力向多个平行平板电极传输的中心供电线以及该中心供电线周围的接地线构成；阻抗调整机构(36)，其调整输入侧的阻抗以使电流值降低。配电部件(30)具有：由板状的导体构成的本体(31)；向本体(31)的一方主面的输入点(31a)输入高频电力的高频电力输入部(32)；在以本体(31)的另一方主面的与输入点(31a)对应的点为中心的圆周上，被等间隔地配置了多个的高频电力输出部(33)。

主权项

一种高频电力分配装置，在通过向多个平行平板电极供给高频电力来生成等离子体，并以批量处理方式处理多个基板的基板处理装置中，将从高频电源输出的高频电力均等地分配提供给上述多个平行平板电极，其特征在于，具有：配电部件，其将被输入的高频电力均等地分支为多份；同轴传输线，其由将上述配电部件所分支的高频电力向上述多个平行平板电极传输的中心供电线以及该中心供电线周围的接地线构成；以及阻抗调整机构，其用于调整输入侧的阻抗以使电流值降低，上述配电部件具有：由板状的导体构成的本体；向上述本体的一方主面的输入点输入高频电力的高频电力输入部；和在以上述本体的另一方主面的与上述输入点对应的点为中心的圆周上等间隔地被配置了多个的高频电力输出部，上述同轴传输线分别与上述配置了多个的高频电力输出部连接，上述阻抗调整机构被设置于上述高频电力输入部。