[发明专利]高频电力分配装置以及使用其的基板处理装置

说明书

技术领域

本发明涉及在一个腔室内对多个基板进行等离子体处理时所使用的高频电力分配装置以及使用了该高频电力分配装置的基板处理装置。

背景技术

以往，作为在一个腔室内对多个基板进行等离子体处理的装置，公知有如下的装置，在腔室内设置多对阳极及阴极电极，从在腔室外设置的电源经由匹配器(matching box)后分支成阴极电极的数目个的电力导入线被设置为相互对称状地延伸，并将这些电力导入线与各阴极电极连接以供给高频电力(例如，专利文献1)。

在该专利文献1中，具体而言，在匹配器(matching box)与阴极电极之间，利用分支为2根后再分别进一步分支成2根的多级分支来分配阴极电极的数目份的高频电力。由此，无需借助特别的调整机构，就能够向室内的多个放电空间均等地进行电力供给。

专利文献1：日本特开2006-196681号公报。

然而，在专利文献1的技术中，由于匹配器输出部的阻抗低，所以由于组装等的微小的差异就会产生较大的电流差异。另外，在利用多级分支方式来分配高频电力的情况下，由于不能使用同轴电缆作为供电线，所以可按每一个电极投入的高频功率产生偏差。因此，在专利文献1的技术中，实际在腔室内的多个放电空间的处理中产生偏差，会导致产品的特性差异。另外，由于在低阻抗电路中流过大电流，所以由于发热引起的功率损耗较大。另外，在以2根为单位地进行分支的多级分支方式的情况下，能够分支的级数被限定为2ⁿ级(n为正的整数)，不能分配为任意的数目。

发明内容

本发明是鉴于该情况而提出的，其目的在于提供一种能够实现用于处理基板的多个放电空间的每一个的处理的偏差小、功率损耗小且能够将高频电力均等地分配成任意的数目的高频电力分配装置以及使用了该高频电力分配装置的基板处理装置。

为了解决上述课题，在本发明的第1观点中，提供一种高频电力分配装置，在通过向多个平行平板电极供给高频电力来生成等离子体，并以批量处理方式处理多个基板的基板处理装置中，将从高频电源输出的高频电力均等地分配提供给上述多个平行平板电极，其特征在于，具有：配电部件，其将被输入的高频电力均等地分支为多份；同轴传输线，其由将上述配电部件所分支的高频电力向上述多个平行平板电极传输的中心供电线以及该中心供电线周围的接地线构成；以及阻抗调整机构，其用于调整输入侧的阻抗以使电流值降低，上述配电部件具有：由板状的导体构成的本体；向上述本体的一方主面的输入点输入高频电力的高频电力输入部；和在以上述本体的另一方主面的与上述输入点对应的点为中心的圆周上等间隔地被配置了多个的高频电力输出部，上述同轴传输线分别与上述配置了多个的高频电力输出部连接，上述阻抗调整机构被设置于上述高频电力输入部。

在本发明的第2观点中，提供一种基板处理装置，其利用等离子体以批量处理方式处理多个基板，其特征在于，具有：多个平行平板电极，用于按每个基板产生上述等离子体；高频电源，其向上述多个平行平板电极的高频电力施加电极供给高频电力；匹配器，其使设置在上述高频电源与上述多个高频电力施加电极之间的阻抗匹配；高频电力分配装置，其被设置在上述匹配器与上述多个高频电力施加电极之间，用于将从上述高频电源经由上述匹配器供给的高频电力均等地分配提供给上述多个高频电力施加电极，上述高频电力分配装置具有：配电部件，其将被输入的高频电力均等地分支成多份；同轴传输线，其由将上述配电部件所分支的高频电力向上述多个高频电力施加电极传输的中心供电线以及该中心供电线周围的接地线构成；以及阻抗调整机构，其用于调整输入侧的阻抗以使电流值降低，上述配电部件具有：由板状的导体构成的本体；向上述本体的一方主面的输入点输入高频电力的高频电力输入部；和在以上述本体的另一方主面的与上述输入点对应的点为中心的圆周上等间隔地被配置了多个的高频电力输出部，上述同轴传输线分别与上述配置了多个的高频电力输出部连接，上述阻抗调整机构被设置于上述高频电力输入部。