[发明专利]加热腔室以及等离子体加工设备无效
| 申请号： | 201210120003.X | 申请日： | 2012-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN103374698A | 公开（公告）日： | 2013-10-30 |
| 发明（设计）人： | 李栋才;王厚工;耿波;赵梦欣;丁培军 | 申请（专利权）人： | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;张天舒 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种加热腔室以及等离子体加工设备，其包括腔室本体、石英窗和加热灯，所述石英窗将所述腔室本体分隔为上子腔室和下子腔室，其中，所述加热灯设置于所述下子腔室内，并透过所述石英窗向所述上子腔室内辐射热量；在所述上子腔室内设置有采用导热材料制作的匀热板，被加工工件由所述匀热板承载，所述匀热板将吸收到的所述加热灯辐射的热量传导至所述被加工工件。上述加热腔室不仅可以缩小被加工工件的各区域之间的温差，从而提高工艺的均匀性，而且结构简单，制造成本较低。 | ||
| 搜索关键词： | 加热 以及 等离子体 加工 设备 | ||
【主权项】：
一种加热腔室，包括腔室本体、石英窗和加热灯，所述石英窗将所述腔室本体分隔为上子腔室和下子腔室，其特征在于，所述加热灯设置于所述下子腔室内，并透过所述石英窗向所述上子腔室内辐射热量；在所述上子腔室内设置有采用导热材料制作的匀热板，被加工工件由所述匀热板承载，所述匀热板将吸收到的所述加热灯辐射的热量传导至所述被加工工件。
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