[发明专利]加热腔室以及等离子体加工设备

权利要求书

1.一种加热腔室，包括腔室本体、石英窗和加热灯，所述石英窗将所述腔室本体分隔为上子腔室和下子腔室，其特征在于，所述加热灯设置于所述下子腔室内，并透过所述石英窗向所述上子腔室内辐射热量；

在所述上子腔室内设置有采用导热材料制作的匀热板，被加工工件由所述匀热板承载，所述匀热板将吸收到的所述加热灯辐射的热量传导至所述被加工工件。

2.根据权利要求1所述的加热腔室，其特征在于，所述导热材料包括具有导热性能的陶瓷、石墨或金属。

3.根据权利要求1所述的加热腔室，其特征在于，所述上子腔室保持真空状态或在所述上子腔室内充入惰性气体。

4.根据权利要求1所述的加热腔室，其特征在于，在所述上子腔室室壁的内侧设置有支撑部件，用以支撑所述匀热板。

5.根据权利要求4所述的加热腔室，其特征在于，所述支撑部件为支撑环，所述支撑环的外缘固定在所述上子腔室的室壁上；或者，

所述支撑部件为沿所述上子腔室的内周缘分布的多个支撑板，所述支撑板的一端固定于所述上子腔的室壁上，另一端沿所述上子腔室的径向方向延伸；而且，多个所述支撑板的上表面在同一水平面。

6.根据权利要求4所述的加热腔室，其特征在于，所述支撑部件为沿所述加热腔室的内周缘分布的多个凸部，所述凸部沿所述上子腔室的径向方向凸出；而且，多个所述凸部的上表面在同一水平面；或者

所述支撑部件为设置在所述上子腔室内侧的凸环，所述凸环沿所述上子腔室的径向方向凸出。

7.根据权利要求1所述的加热腔室，其特征在于，在所述下子腔室内且位于所述加热灯的下方设置有反射板，用以将所述加热灯辐射的热量朝向所述匀热板辐射。

8.根据权利要求7所述的加热腔室，其特征在于，在所述反射板的内表面且靠近所述下子腔室的侧壁位置设置有侧反射板，用以减少所述加热灯辐射的热量自所述下子腔室侧壁的损失。

9.根据权利要求7所述的加热腔室，其特征在于，在所述反射板的下表面贴合有冷却板，在所述冷却板内设置有冷却水管路，在所述冷却水管路内通入冷却水，借助所述冷却水对所述反射板进行冷却。

10.根据权利要求9所述的加热腔室，其特征在于，在所述冷却板的下表面设置有用于固定所述加热灯的安装部件，在所述反射板和冷却板上且与所述安装部件相对应的位置处分别设置有贯穿其厚度的通孔，所述加热灯穿过所述通孔与所述安装部件连接。

11.一种等离子体加工设备，包括加热腔室，其特征在于，所述加热腔室采用权利要求1-10任意一项权利要求所述加热腔室。