[发明专利]一种散射计量的装置和测量方法

摘要

本发明公开一种散射计量的装置，包括：照明模块、物镜、二维阵列探测器、光谱仪照明模块提供的照明光束汇聚至一被测对象上获得一反射光；二维阵列探测器，用于测量该反射光的角分辨谱；光谱仪，用于测量该反射光在一空间频率下的光谱。本发明同时公开一种散射计量的测量方法。

主权项

一种散射计量的装置，包括：照明模块，用以产生照明光束；物镜，用于将所述照明光束会聚到被测对象上，并收集被测对象的反射光；二维阵列探测器，其探测面位于所述物镜的光瞳面，用于探测所述反射光的角分辨谱； 光谱仪，其入光口位于物镜光瞳面，用于测量所述反射光在一空间频率下的光谱；通过改变光谱仪入光口在物镜瞳面的位置可探测不同空间频率的反射光；所述光谱仪包含一个光源，发出的光从光谱仪入光口出射，所述二维阵列探测器可测得所述光谱仪光源发出的光，用以确定所述光谱仪入光口在所述物镜光瞳的位置；以及处理模块，与所述二维阵列探测器、所述光谱仪连接，依据所述所述光谱仪测得的光谱、所述二维阵列探测器测得的光谱仪入光口在物镜光瞳中的位置信息及/或所述二维阵列探测器测得的角分辨谱信息，计算出该被测对象的特征参数。