[发明专利]一种散射计量的装置和测量方法

权利要求书

1.一种散射计量的装置，包括：

照明模块，用以产生照明光束；

物镜，用于将所述照明光束会聚到被测对象上，并收集被测对象的反射光；

二维阵列探测器，其探测面位于所述物镜的光瞳面，用于探测所述反射光的角分辨谱； 

光谱仪，其入光口位于物镜光瞳面，用于测量所述反射光在一空间频率下的光谱；通过改变光谱仪入光口在物镜瞳面的位置可探测不同空间频率的反射光；

所述光谱仪包含一个光源，发出的光从光谱仪入光口出射，所述二维阵列探测器可测得所述光谱仪光源发出的光，用以确定所述光谱仪入光口在所述物镜光瞳的位置；以及

处理模块，与所述二维阵列探测器、所述光谱仪连接，依据所述所述光谱仪测得的光谱、所述二维阵列探测器测得的光谱仪入光口在物镜光瞳中的位置信息及/或所述二维阵列探测器测得的角分辨谱信息，计算出该被测对象的特征参数。

2.如权利要求1所述的散射计量装置，其特征在于，还包括设置于所述照明光束路经上或反射光束路经上的滤光元件，用于对其接收的光进行处理，产生窄带光输出。

3.如权利要求2所述的散射计量装置，其特征在于，所述滤光元件滤出的窄带光半高全宽小于20nm。

4.如权利要求3所述的散射计量装置，其特征在于，所述滤光元件滤出的窄带光半高全宽小于10nm。

5.如权利要求2所述的散射计量装置，其特征在于，所述滤光元件为干涉滤光片、光栅、单色仪或声光调制器。

6.如权利要求1所述的散射计量装置，其特征在于，所述照明模块包括一光源，所述光源为氙气灯、氘灯或卤素灯，或其组合。

7.如权利要求1所述的散射计量装置，其特征在于，所述二维阵列探测器为CCD或CMOS二维阵列探测器，用于探测反射光的角分辨谱。

8.如权利要求1所述的散射计量装置，其特征在于，所述光谱仪的入光口为机械刀口或光纤头。

9.一种利用权利要求1所述的散射计量装置的散射计量方法，包括：

提供一照明光束，并将其引导汇聚至一被测对象表面；

光谱仪测量所述被测对象的反射光在一空间频率下的光谱；

二维阵列探测器探测所述被测对象的反射光的角分辨谱，以及探测光谱仪入光口在物镜光瞳中的位置信息；以及

依据所述反射光的光谱、光谱仪入光口在物镜光瞳中的位置信息及/或所述反射光的角分辨谱计算所述被测对象的特征参数。