[发明专利]类金刚石膜层的表面处理方法及制品有效
| 申请号： | 201210117519.9 | 申请日： | 2012-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN103374697B | 公开（公告）日： | 2017-09-29 |
| 发明（设计）人： | 曹达华 | 申请（专利权）人： | 深圳富泰宏精密工业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司44334 | 代理人： | 谢志为 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种类金刚石膜层的表面处理方法，其包括如下步骤提供基体；采用离子束辅助磁控溅射沉积技术，在基体表面形成类金刚石膜层；对该类金刚石膜层进行离子源渗透处理，在类金刚石膜层内掺杂硅元素和氟元素，该离子源渗透处理的温度为400~600℃。本发明还提供一种经上述类金刚石膜层的表面处理方法制得的制品。 | ||
| 搜索关键词： | 金刚石 表面 处理 方法 制品 | ||
【主权项】：
一种类金刚石膜层的表面处理方法，其包括如下步骤：提供基体；采用离子束辅助磁控溅射沉积技术，在基体表面形成类金刚石膜层；对该类金刚石膜层进行离子源渗透处理，在类金刚石膜层内掺杂硅元素和氟元素，并于该基体与该类金刚石膜层之间形成扩散层，该扩散层中含有碳化硅、碳化铁、硅铁固溶体及氟铁固溶体，该离子源渗透处理的温度为400～600℃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳富泰宏精密工业有限公司，未经深圳富泰宏精密工业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210117519.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：照明装置以及用于拆卸照明装置的拆卸工具
- 下一篇：一种散热型LED变压器
- 同类专利
- 专利分类
