[发明专利]一种红外辐射加热器陶瓷加热芯的制作方法

摘要

本发明提供了一种红外辐射加热器陶瓷加热芯的制作方法，在碳化硅陶瓷加热芯内、外表面均附着有二氧化硅玻璃层，其制作方法如下：①采用碳化硅晶体制作陶瓷加热芯；②在碳化硅陶瓷加热芯喷涂硅化钼层得到带有硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯；③将步骤②的碳化硅陶瓷加热芯内外表面的硅化钼与空气中的氧气反应生成二氧化硅得到二氧化硅基底层；④再将步骤③的碳化硅陶瓷加热芯置入二氧化硅熔炉中形成二氧化硅玻璃层雏形；⑤将步骤④的碳化硅陶瓷加热芯移至脱羟炉内得到二氧化硅玻璃层。本发明能够减少陶瓷加热器中二氧化硅玻璃层的厚度，提高陶瓷加热器的升温速度，并且生产效率高，其二氧化硅玻璃层不会脱落，大幅降低企业生产成本。

主权项

一种红外辐射加热器陶瓷加热芯的制作方法，它有碳化硅陶瓷加热芯(1)，其特征在于：在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面均附着有二氧化硅玻璃层(2)，其制作方法如下：①采用碳化硅晶体制作陶瓷加热芯，用功率为1‑1.3KW、功率密度为35‑45×105W/cm3的激光束以30mm/秒的加工速度照射碳化硅陶瓷加热芯(1)内外表面，使碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面光滑、均匀一致；②在步骤①中被激光照射后的碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面喷涂60‑90μm厚的硅化钼层，将喷涂硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯(1)置于烘干炉中，在180‑200℃的温度中烘干1.9‑2.1小时，得到带有硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯(1)；③将步骤②中带有硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯(1)在空气中常温下通电，使碳化硅晶体发热至1680‑1750℃，并保温通电5分钟，使碳化硅陶瓷加热芯(1)内外表面的硅化钼与空气中的氧气反应生成二氧化硅，反应生成的二氧化硅生长在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面，形成二氧化硅致密膜层，在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面得到二氧化硅基底层；④再将步骤③中得到内、外表面带有二氧化硅基底层的碳化硅陶瓷加热芯(1)置入二氧化硅熔炉中，二氧化硅熔炉中通入0.01MPa的氖气，并在二氧化硅熔炉中装入1600℃的二氧化硅熔融物，将带有二氧化硅基底的碳化硅陶瓷加热芯(1)浸入1600℃的二氧化硅熔融物中，保温5分钟后取出，冷却至1460℃，使二氧化硅熔炉中的二氧化硅分子键聚在基底上，形成二氧化硅玻璃层雏形；⑤将步骤④中1460℃的带有二氧化硅玻璃层雏形的碳化硅陶瓷加热芯(1)移至脱羟炉内，逐步降温至室温，在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面上得到厚度为200‑600μm的二氧化硅玻璃层(2)。