[发明专利]一种红外辐射加热器陶瓷加热芯的制作方法

权利要求书

1.一种红外辐射加热器陶瓷加热芯的制作方法，它有碳化硅陶瓷加热芯(1)，其特征在于：在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面均附着有二氧化硅玻璃层(2)，其制作方法如下：

①采用碳化硅晶体制作陶瓷加热芯，用功率为1-1.3KW、功率密度为35-45×10⁵W/cm³的激光束以30mm/秒的加工速度照射碳化硅陶瓷加热芯(1)内外表面，使碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面光滑、均匀一致；

②在步骤①中被激光照射后的碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面喷涂60-90μm厚的硅化钼层，将喷涂硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯(1)置于烘干炉中，在180-200℃的温度中烘干1.9-2.1小时，得到带有硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯(1)；

③将步骤②中带有硅化钼层的碳化硅陶瓷加热芯(1)在空气中常温下通电，使碳化硅晶体发热至1680-1750℃，并保温通电5分钟，使碳化硅陶瓷加热芯(1)内外表面的硅化钼与空气中的氧气反应生成二氧化硅，反应生成的二氧化硅生长在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面，形成二氧化硅致密膜层，在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面得到二氧化硅基底层；

④再将步骤③中得到内、外表面带有二氧化硅基底层的碳化硅陶瓷加热芯(1)置入二氧化硅熔炉中，二氧化硅熔炉中通入0.01MPa的氖气，并在二氧化硅熔炉中装入1600℃的二氧化硅熔融物，将带有二氧化硅基底的碳化硅陶瓷加热芯(1)浸入1600℃的二氧化硅熔融物中，保温5分钟后取出，冷却至1460℃，使二氧化硅熔炉中的二氧化硅分子键聚在基底上，形成二氧化硅玻璃层雏形；

⑤将步骤④中1460℃的带有二氧化硅玻璃层雏形的碳化硅陶瓷加热芯(1)移至脱羟炉内，逐步降温至室温，在碳化硅陶瓷加热芯(1)内、外表面上得到厚度为200-600μm的二氧化硅玻璃层(2)。

2.根据权利要求1所述的一种红外辐射加热器陶瓷加热芯的制作方法，其特征在于：二氧化硅玻璃层(2)的厚度为300-500μm。