[发明专利]一种蓝宝石晶体生长的称重装置无效
| 申请号： | 201210107669.1 | 申请日： | 2012-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN102645259A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 杨军良 | 申请（专利权）人： | 西安蓝晶机械科技有限公司 |
| 主分类号： | G01G17/00 | 分类号： | G01G17/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蓝宝石晶体生长的称重装置。目前在晶体生长的称重结构设计中，有两种结构，一是传感器、旋转电机内置的形式，另一是传感器、旋转电机都外置的结构。前者，容易产生籽晶杆的振动，也易受真空室内温度的影响，故障率较高，检修很不方便；后者，传感器初期加载太大，检测分辨率降低，称量误差也大。一种蓝宝石晶体生长的称重装置，包括真空室、籽晶杆、轴承座、称重传感器、旋转电机，所述的称重传感器设置于真空室内，旋转电机通过电机支座设置于真空室上。本发明传感器内置、旋转电机外置，大大提高了称量精度，晶体生长率误差小，实际值与理论值接近，能够很好地实现工艺操作，提高晶体的良品率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶体生长 称重 装置 | ||
【主权项】：
一种蓝宝石晶体生长的称重装置，包括真空室(12)、籽晶杆(8)、轴承座(7)、称重传感器(11)、旋转电机(1)，其特征在于：所述的称重传感器(11)设置于真空室(12)内，旋转电机(1)通过电机支座(2)设置于真空室(12)上。
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