[发明专利]一种蓝宝石晶体生长的称重装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种蓝宝石晶体生长的称重装置。

背景技术

目前在晶体生长的称重结构设计中，有两种结构，一是传感器、旋转电机内置的形式，另一是传感器、旋传电机都外置的结构。前者，电机内置真空室，容易产生籽晶杆的振动，也易受真空室内温度的影响，故障率较高，检修也很不方便；后者，传感器初期加载太大，需要较大的传感器量程，从而，检测分辨率降低，亦即降低了传感器精度，对系统不利，同时，受外界环境、系统真空度等的影响，称量误差也大。

发明内容

本发明为了解决上述背景技术中的不足之处，提供一种蓝宝石晶体生长的称重装置，可大大提高了称量精度，晶体生长率误差小，实际值与理论值接近，能够很好地实现工艺操作，提高晶体的良品率。

为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：一种蓝宝石晶体生长的称重装置，包括真空室、籽晶杆、轴承座、称重传感器、旋转电机，其特征在于：所述的称重传感器设置于真空室内，旋转电机通过电机支座设置于真空室上。

所述的旋转电机通过联轴器连接到主动拨盘上。

所述的称重传感器下端设置有轴承座。

所述的真空室内称重传感器的下部设置有冷却水管。

所述的联轴器为弹性连轴器。

与现有技术相比，本发明具有的优点和效果如下：本发明传感器内置、旋转电机外置，大大提高了称量精度，晶体生长率误差小，实际值与理论值接近，能够很好地实现工艺操作，提高晶体的良品率。

附图说明

图1是本发明的结构示意图。

图中，1-旋转电机，2-电机支座，3-联轴器，4-旋转密封件，5-主动拨盘，6-从动拨盘，7-轴承座，8-籽晶杆，9-波纹管，10-冷却水管，11-称重传感器，12-真空室。

具体实施方式

参见图1：本发明包括真空室12、籽晶杆8、轴承座7、称重传感器11、旋转电机1、波纹管9，真空室12为空心腔体，真空室12通过波纹管9与主炉室相通，从动拨盘6、籽晶杆8通过轴承座7与固定在真空室12内的称重传感器11连接，轴承座7设置于称重传感器11左部的下端，旋转电机1经电机支座2安装于真空室12上，旋转电机1通过弹性联轴器3连接到主动拨盘5上，主动拨盘5通过旋转密封件4与真空室12相连；称重传感器11的下部靠近真空室12的下壁上设置有冷却水管10。

本发明专门用于蓝宝石晶体生长称重控径，通过传感器内置、旋转电机外置的方法，很好地解决了晶体生长过程称量的精确性，由于只有籽晶杆及其轴承座的重量添加到传感器上，这部分重量是固定值，在整个晶体生长过程中，传感器只获取晶体的重量，改变了以往旋转电机、波纹管及真空负压、冷却水压变化等对称重数值的影响，可以获取精确的生长率数据，实现晶体生长的等径控制。

本发明所描述的装置，选高精度传感器分辨率1/50000，现有装置籽晶杆、旋转电机、轴承座等自重大约15Kg，抽取真空后，波纹管施加给传感器的负载大约为20Kg，再加上测量晶体的重量为35Kg，因此，传感器的量程要选取得较大为100Kg，这样，称重系统的最小感量100x1000g/50000＝2g，这个值精度较低，同时，容易受籽晶杆水冷压力波动、真空度波动、旋转电机振动等因素的影响，致使测量的晶体重量产生随机误差；本装置，传感器只承担了籽晶杆的重量2Kg、及被测晶体的重量35Kg，可选较低量程的传感器50Kg，这样，称重系统的最小感量50x1000g/50000＝1g，大大提高了称重的分辨率，同时，这个值不受外界因素的影响，能够很好地满足晶体生长工艺要求。

很明显，以上是对本发明具体实施例的详细描述，并不代表保护范围局限于此，在本发明构思下所做的任何改变都将落入本发明保护范围。