[发明专利]高频探针及其探针卡无效
| 申请号： | 201210102329.X | 申请日： | 2012-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN103323634A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 谢昭平;赖俊良;徐国萌;郑雅允 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G01R1/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高频探针及其探针卡，所述高频探针在一信号针的表面包覆有一高导电率层，用以提高该信号针的电性传导能力。该信号针应用于测量待测物时，还与一电性连接至接地电平的阻抗匹配装置搭配使用，以提高测量的精准度；同时，探针卡以多针层方式设计，可应用于排列缜密的待测物的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 高频 探针 及其 | ||
【主权项】：
一种高频探针，包含：一信号针，该信号针包括一探针本体及一高导电率层，所述高导电率层包覆该探针本体的表面；以及一阻抗匹配装置，其与该信号针平行设置，且与该高导电率层电性隔离。
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