[发明专利]气相沉积装置和方法以及制造有机发光显示装置的方法

摘要

本发明提供了一种能够执行薄膜沉积工艺并提高所形成的薄膜的特性的气相沉积装置、一种气相沉积方法和一种制造有机发光显示装置的方法，所述气相沉积装置包括：室，具有排放开口；架台，设置在所述室内，并包括安装表面，所述基底可以安装在所述安装表面上；注入单元，具有至少一个注入开口，所述至少一个注入开口用于将气体沿与所述基底的其上将形成所述薄膜的表面平行的方向注入到所述室内；引导构件，面向所述基底，以在所述基底和所述引导构件之间提供设定的或预定的空间；驱动单元，用于传送所述架台和所述引导构件。

主权项

一种用于在基底上形成薄膜的气相沉积装置，所述装置包括：室，具有排放开口；架台，在所述室内，并包括安装表面，所述安装表面被构造为用于使所述基底安装在其上；注入单元，具有至少一个注入开口，所述至少一个注入开口用于将气体沿与所述基底的其上将形成所述薄膜的表面平行的方向注入到所述室内；引导构件，面向所述基底，以在所述基底和所述引导构件之间提供空间；驱动单元，用于传送所述架台和所述引导构件。