[发明专利]薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺无效
| 申请号： | 201210100780.8 | 申请日： | 2012-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN102615433A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 景超 | 申请（专利权）人： | 镇江大成新能源有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/36 | 分类号： | B23K26/36;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212132 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，包括以下步骤：（1）通过机械手臂将太阳能电池材料放置于操作平台上，通过控制系统定义加工参数；（2）聚焦激光光束在太阳能电池材料表面，飞秒激光提高太阳能电池材料表面温度，按照预设编程进行刻蚀工作；（3）刻蚀结束，更换新的太阳能电池材料重复上述步骤。本发明的优点是刻蚀工艺步骤简单，刻蚀加工图形和路径编程程序可调整，输入控制系统即可全自动化操作，飞秒激光的高能高效高精准保证了刻蚀精度显著提高，对刻蚀线周围材料损伤小，环保，易于工业生产广泛应用。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 太阳能电池 激光 刻蚀 工艺 | ||
【主权项】：
一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于包括以下步骤：（1）通过机械手臂将太阳能电池材料放置于操作平台上，通过控制系统定义加工参数；（2）聚焦激光光束在太阳能电池材料表面，飞秒激光提高太阳能电池材料表面温度，按照预设编程进行刻蚀工作；（3）刻蚀结束，更换新的太阳能电池材料重复上述步骤。
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