[发明专利]薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于包括以下步骤：

（1）通过机械手臂将太阳能电池材料放置于操作平台上，通过控制系统定义加工参数；

（2）聚焦激光光束在太阳能电池材料表面，飞秒激光提高太阳能电池材料表面温度，按照预设编程进行刻蚀工作；

（3）刻蚀结束，更换新的太阳能电池材料重复上述步骤。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于：不同波长的激光在太阳能电池材料各层上刻画特定的图样，实现内部级联。

3.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于：刻蚀速度不高于1000mm/s。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于：刻蚀线宽为1～400微米。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于：线宽一致性≤8%。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池飞秒激光刻蚀工艺，其特征在于：激光光束覆盖范围1200×1200mm。