[发明专利]用于显示设备的阵列基板及其制造方法

摘要

用于显示设备的阵列基板及其制造方法。用于显示设备的阵列基板，包括：具有像素区域的基板；基板上的扫描线、栅极和数据线，栅极连接到扫描线，扫描线和数据线交叉以限定像素区域，数据线在与扫描线的交叉处断开；扫描线、栅极和数据线上的绝缘层，该绝缘层具有露出扫描线的端子部、数据线的端子部、源极以及数据线在与扫描线断开处的两侧的接触孔；绝缘层和像素区域上的氧化物半导体层，氧化物半导体层通过接触孔连接到扫描线的端子部、数据线的端子部、源极以及数据线在与扫描线断开处的两侧；栅极上方且位于氧化物半导体层上的保护层；采用离子注入或退火处理的方式使保护层以外区域的氧化物半导体层成为具有导体特性的透明电极。

主权项

一种用于显示设备的阵列基板，包括：具有像素区域的基板；位于所述基板上的扫描线、栅极和数据线，所述栅极连接到所述扫描线，所述扫描线和数据线交叉以限定所述像素区域，所述数据线在与所述扫描线的交叉处断开；位于所述扫描线、栅极和数据线上的绝缘层，该绝缘层具有露出所述扫描线的端子部、数据线的端子部、源极以及数据线在与扫描线断开处的两侧的接触孔；位于所述绝缘层和像素区域上的氧化物半导体层，所述氧化物半导体层通过所述接触孔连接到所述扫描线的端子部、数据线的端子部、源极以及数据线在与扫描线断开处的两侧；位于所述栅极上方且位于氧化物半导体层上的保护层；采用离子注入或退火处理的方式使位于保护层以外区域的氧化物半导体层成为具有导体特性的透明电极。