[发明专利]一种光栅尺尺壳角度扭曲的自动检测方法及校扭装置无效

专利信息
申请号: 201210088599.X 申请日: 2012-03-30
公开(公告)号: CN102620654A 公开(公告)日: 2012-08-01
发明(设计)人: 张吉鹏;谭向全;孙强;孟辉;王健;吴宏圣;曾琪峰 申请(专利权)人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01B11/26;B21D3/00
代理公司: 长春菁华专利商标代理事务所 22210 代理人: 陶尊新
地址: 130033 吉*** 国省代码: 吉林;22
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摘要: 一种光栅尺尺壳扭曲的自动检测方法及校扭装置,涉及光栅尺尺壳扭曲的自动检测方法及校扭装置,解决现有光栅尺尺壳表面出现角度扭转误差,导致尺壳的同一表面的两端出现角度扭曲,无法满足光栅尺高精度要求的问题。包括校扭机和检测光路,检测光路中的激光光源发出的光在经过分光棱镜时后,一路光线透过分光棱镜,经第二反射镜、第三反射镜,反射后,经过第二反射镜、分光棱镜,经第一调光透镜、第二调光透镜在CCD摄像头上成像;另一路光线经分光棱镜射入第一反射镜后被第一反射镜反射,透过分光棱镜,经第一调光透镜、第二调光透镜,在CCD摄像头上成像。对CCD摄像头上的像计算,得到角度扭曲量值。校扭机根据此值实现自动调校。
搜索关键词: 一种 光栅尺 角度 扭曲 自动检测 方法 装置
【主权项】:
一种光栅尺尺壳角度扭曲的自动检测方法,其特征是,该方法由以下步骤实现:步骤一、将第三反射镜(7)通过第一夹具(8)固定在被检尺壳(9)表面的一端,第一反射镜(10)通过第二夹具(11)固定在被检尺壳(9)表面的另一端;步骤二、打开激光光源(1),所述激光光源(1)发出的光束经分光棱镜(2)分为两路光束,一路光束透过分光棱镜(2)经第二反射镜(6)、第三反射镜(7)反射,经第三反射镜(7)反射后的光束经第二反射镜(6)、分光棱镜(2)反射至第一调光透镜(3)和第二调光透镜(4),在CCD摄像头(5)上成基准像;另一路光束经分光棱镜(2)反射至第一反射镜(10),第一反射镜(10)的反射的光束透过分光棱镜(2)经第一调光透镜(3)和第二调光透镜(4),在CCD摄像头(5)上成对比像;步骤三、根据步骤二中在CCD摄像头(5)上成的基准像和对比像的位置是否在同一直线上,如果是,则判定被检尺壳(9)同一表面的两端不存在的角度扭曲;如果否,则执行步骤四;步骤四、对CCD摄像头(5)上基准像和对比像的位置数据进行处理、计算,获得被检尺壳(9)同一表面两端的角度扭曲值,将所述角度扭曲值输入校扭机(12)中,校扭机(12)实现对被检尺壳(9)的自动调校。
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