[发明专利]一种膜厚测量装置及方法有效
| 申请号： | 201210080756.2 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN102778202A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 曲连杰;郭建;王德帅;朱朋举 | 申请（专利权）人： | 北京京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理事务所(普通合伙) 11270 | 代理人： | 程立民;蒋雅洁 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种膜厚测量装置及方法，所述装置包括：准直透镜、第一半透半反镜、物镜、第二半透半反镜、收集光纤、图像传感器、计算机以及分光单元；其中，所述分光单元，用于对所述收集光纤收集到的光进行分光处理，分离得到各个波长的光；所述计算机，用于获取不同波长的光的强度，计算得到被测物的膜厚。本发明通过分光单元对收集光纤收集到的光进行分光，得到所述光包含的各个波长的光，扩大了膜厚测量装置取样点的频谱范围，提高了分辨率；进一步地，还可以通过光纤探针的位置调整，灵活控制取样点数目及取样点位置，提高了处理数据的灵活性，实现高精度的膜厚测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种膜厚测量装置，包括准直透镜、第一半透半反镜、物镜、第二半透半反镜、收集光纤、图像传感器、计算机，其特征在于，所述装置还包括分光单元；其中，所述分光单元，用于对所述收集光纤收集到的光进行分光处理，分离得到各个波长的光；所述计算机，用于获取不同波长的光的强度，计算得到被测物的膜厚。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京京东方光电科技有限公司，未经北京京东方光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210080756.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
