[发明专利]一种膜厚测量装置及方法

权利要求书

1.一种膜厚测量装置，包括准直透镜、第一半透半反镜、物镜、第二半透半反镜、收集光纤、图像传感器、计算机，其特征在于，所述装置还包括分光单元；其中，

所述分光单元，用于对所述收集光纤收集到的光进行分光处理，分离得到各个波长的光；

所述计算机，用于获取不同波长的光的强度，计算得到被测物的膜厚。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述分光单元包括第一准直透镜、棱镜和第二准直透镜；其中，

所述第一准直透镜，用于对所述收集光纤收集到的光进行折射，形成平行光束；

所述棱镜，用于对所述平行光束进行分光，得到不同波长的光束；

所述第二准直透镜，用于对所述不同波长的光束进行聚焦成像。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述分光单元，还包括聚焦平面，用于为所述第二准直透镜提供成像平面。

4.根据权利要求1至3任一项所述的装置，其特征在于，所述装置还包括光纤探针，用于通过自身位置的调整获取所述分光单元分离得到的不同波长的光强度。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述图像传感器为电荷耦合元件CCD，用于将所述光纤探针获取的光强度传输给所述计算机。

6.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述光纤探针，具体用于根据用户输入的收集指令，进行自身位置的调整及不同波长的光的采样点数目的确定。

7.一种膜厚测量方法，其特征在于，所述方法还包括：

收集光纤收集被测物反射过来的光；

分光单元对所述收集光纤收集到的光进行分光处理，分离得到各个波长的光；

计算机获取不同波长的光的强度，计算得到被测物的膜厚。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述分光单元对所述收集光纤收集到的光进行分光处理为：

第一准直透镜对所述收集光纤收集到的光进行折射，形成平行光束；

通过棱镜对所述平行光束进行分光，得到不同波长的光束；

第二准直透镜对所述不同波长的光束进行聚焦成像。

9.根据权利要求7或8所述的方法，其特征在于，所述计算机获取不同波长的光的强度为：

光纤探针通过自身位置的调整获取不同波长的光强度，并将获取的光强度通过图像传感器传输给所述计算机。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，所述光纤探针通过自身位置的调整获取不同波长的光强度为：

光纤探针根据用户输入的收集指令，进行自身位置的调整及不同波长的光的采样点数目的确定。