[发明专利]XY工作台

摘要

本发明提供的XY工作台具有X轴直线电动机和Y轴直线电动机，X轴直线电动机和Y轴直线电动机具有作为移动部的由三相的线圈构成的线圈部和作为固定部的磁轭部，磁轭部相对于长度方向的中心线在其上部和下部设置有开口部，在上部的开口部的上表面和下部的开口部的下表面上以多个永磁体的表面成为N极、S极的方式交替地排列有多个永磁体，磁轭部上部的开口部的永磁体和垂直方向上的磁轭部下部的开口部的永磁体以成为同极的方式排列，在中心附近的磁轭插入有三相的线圈，磁轭部通过在与线圈部相同的轴方向上可移动的磁轭部引导件固定在基座上，且以吸收线圈部移动时的反作用力的方式构成，在移动工作台的下部配置有X轴直线电动机。

主权项

一种XY工作台，其特征在于，该XY工作台包括：在二维的XY平面上可移动的移动工作台，用于将该移动工作台在XY方向上进行引导的引导部件，以及用于驱动所述移动工作台的驱动部件；所述驱动部件具有X轴直线电动机和Y轴直线电动机，所述驱动部件的X轴直线电动机和Y轴直线电动机分别具有由线圈构成的可动部和由用于形成磁路的磁轭构成的固定部，所述固定部通过在与所述可动部相同的轴方向上可移动的引导件固定在基座上，且以吸收所述可动部移动时的反作用力的方式构成，所述X轴直线电动机配置在所述移动工作台的下部。