[发明专利]XY工作台有效
| 申请号： | 201210079771.5 | 申请日： | 2012-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN103325695A | 公开（公告）日： | 2013-09-25 |
| 发明（设计）人： | 吉田光 | 申请（专利权）人： | 株式会社华祥 |
| 主分类号： | H01L21/60 | 分类号： | H01L21/60 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 李翔;董彬 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | xy 工作台 | ||
1.一种XY工作台，其特征在于，该XY工作台包括：在二维的XY平面上可移动的移动工作台，用于将该移动工作台在XY方向上进行引导的引导部件，以及用于驱动所述移动工作台的驱动部件；
所述驱动部件具有X轴直线电动机和Y轴直线电动机，所述驱动部件的X轴直线电动机和Y轴直线电动机分别具有由线圈构成的可动部和由用于形成磁路的磁轭构成的固定部，所述固定部通过在与所述可动部相同的轴方向上可移动的引导件固定在基座上，且以吸收所述可动部移动时的反作用力的方式构成，
所述X轴直线电动机配置在所述移动工作台的下部。
2.根据权利要求1所述的XY工作台，其特征在于，所述X轴直线电动机和Y轴直线电动机呈如下的结构：所述可动部由三相的线圈构成，所述固定部的磁轭相对于长度方向的中心线在该磁轭的上部和下部分别设置有开口部，在所述磁轭的上部的开口部的上表面和所述磁轭的下部的开口部的下表面上以多个永磁体的表面为N极、S极交替的方式排列有多个永磁体，所述磁轭的上部的开口部的永磁体和在垂直方向上的所述磁轭的下部的开口部的永磁体以同极的方式排列，并且在中心附近的所述磁轭中插入有三相的线圈。
3.根据权利要求1所述的XY工作台，其特征在于，所述驱动部件的Y轴直线电动机通过在X轴方向上可移动的连结部件来驱动所述移动工作台。
4.根据权利要求1所述的XY工作台，其特征在于，所述X轴直线电动机的可动部由设置在所述移动工作台的前后的连结部双支承。
5.根据权利要求1或2所述的XY工作台，其特征在于，所述X轴直线电动机和所述Y轴直线电动机具有用于对所述可动部和所述固定部的相对位置进行检测的位置检测传感器。
6.根据权利要求5所述的XY工作台，其特征在于，所述X轴直线电动机和所述Y轴直线电动机基于所述位置检测传感器的数据来控制所述X轴直线电动机和所述Y轴直线电动机的可动部的各相的线圈。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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