[发明专利]压电振动片、具有压电振动片的压电装置及压电装置的制造方法

摘要

本发明的目的在于提供振动区域的励振电极及引出电极以均匀的厚度形成且能够防止不需要的振动的产生以及振动特性的劣化的压电振动片。压电振动片(100)具备：振动部(101)，其在中央区域形成有第一厚度(d1)的励振电极(102a、102b)；外框部(108)，其包围振动部并与振动部隔着空隙(105)而形成；连结部(104a、104b)，其连结振动部与外框部；以及引出电极(103a、103b)，其从励振电极引出且形成于振动部、连结部及外框部。并且，引出电极在整个振动部具有第一厚度且在外框部具有比第一厚度厚的第二厚度(d2)。

主权项

一种压电振动片，其特征在于，具备：振动部，其在中央区域形成有第一厚度的励振电极；外框部，其包围上述振动部并与上述振动部隔着空隙而形成；连结部，其连结上述振动部与上述外框部；以及引出电极，其从上述励振电极引出且形成于上述振动部、上述连结部及上述外框部，上述引出电极在整个上述振动部具有上述第一厚度且在上述外框部具有比上述第一厚度厚的第二厚度。