[发明专利]板体研磨装置

摘要

一种板体研磨装置，包括升降平台、研磨模块及加压模块。研磨模块与升降平台的承载部相对且包括研磨带与驱动组件。驱动组件连接研磨带以驱使研磨带转动。加压模块包括加压头与压力调整组件。加压头适于移动而接触在升降平台与加压头间的部分研磨带的背面。压力调整组件连接加压头并适于移动加压头。压力调整组件包括腔体、电磁线圈、永久磁铁及连接件，永久磁铁可移动地设置于电磁线圈与腔体顶侧间。电磁线圈固定于腔体，并位于加压头与永久磁铁间。连接件连接于永久磁铁与加压头。所述板体研磨装置可精准控制研磨厚度。本发明还提出另一可降低维护成本的板体研磨装置。

主权项

一种板体研磨装置，其特征在于，包括：一升降平台，具有一承载部；一研磨模块，与该承载部相对，该研磨模块包括：一研磨带，具有相对的一研磨面与一背面；以及一驱动组件，连接该研磨带，以驱使该研磨带转动；以及一加压模块，包括：一加压头，适于移动而接触至位于该升降平台与该加压头之间的部分该研磨带的该背面；以及一压力调整组件，连接该加压头，并适于移动该加压头以调整该加压头施加于该研磨带的压力，该压力调整组件包括一腔体、一电磁线圈、一永久磁铁以及一连接件，该腔体具有一远离该加压头的顶侧，该永久磁铁可移动地设置于该电磁线圈与该顶侧之间，且该永久磁铁与该顶侧之间形成一密封气密室，该电磁线圈固定于该腔体，并位于该加压头与该永久磁铁之间，而该连接件连接于该永久磁铁与该加压头。