[发明专利]压电振动片的制造方法及其装置、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

摘要

本发明提供一种能够抑制在方形晶片上成膜掩模材料膜时的膜厚不匀的压电振动片的制造方法、压电振动片的制造装置、压电振动片、具备该压电振动片的压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟。所述制造方法的特征在于：具有通过旋涂法来成膜的光刻胶膜成膜工序(掩模材料膜成膜工序)，在整流板(88)的上表面(88a)形成有同心圆状的多个槽部(90)和在各槽部90的径向上邻接的多个壁部(95)，多个槽部(90)中第一槽部(91)的外侧面(91a)的直径小于从旋转中心(K)到方形晶片(65)的外缘(66)的最长距离(α)，并且形成为大于从旋转中心(K)到方形晶片(65)的外缘(66)的最短距离(β)，多个槽部(90)中第二槽部(92)的外侧面(92a)的直径形成为小于从旋转中心(K)到方形晶片(65)的外缘(66)的最短距离(β)。

主权项

一种由方形晶片来制造压电振动片的压电振动片的制造方法，其特征在于，具有：掩模材料膜成膜工序，在上述方形晶片的第一面通过旋涂法来成膜作为上述压电振动片外形形成时的掩模的掩模材料膜，在上述掩模材料膜成膜工序中，将上述方形晶片的第二面朝下方保持在旋转卡盘的晶片保持部的上表面，将自上述方形晶片的外缘伸出到外侧的整流板配置在上述晶片保持部的下方，并以上述晶片保持部的中心轴为旋转中心使上述方形晶片旋转，在上述整流板的上表面，形成有以上述旋转中心为中心的同心圆状的多个槽部和在上述各槽部的径向上邻接的多个壁部，上述多个槽部中第一槽部的外侧面的直径小于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最长距离，并且形成为大于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最短距离，上述多个槽部中较上述第一槽部靠上述径向内侧形成的第二槽部的外侧面的直径形成为小于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最短距离。