[发明专利]压电振动片的制造方法及其装置、压电振动片、压电振动器、振荡器、电子设备及电波钟

权利要求书

1.一种由方形晶片来制造压电振动片的压电振动片的制造方法，其特征在于，具有：

掩模材料膜成膜工序，在上述方形晶片的第一面通过旋涂法来成膜作为上述压电振动片外形形成时的掩模的掩模材料膜，

在上述掩模材料膜成膜工序中，将上述方形晶片的第二面朝下方保持在旋转卡盘的晶片保持部的上表面，将自上述方形晶片的外缘伸出到外侧的整流板配置在上述晶片保持部的下方，并以上述晶片保持部的中心轴为旋转中心使上述方形晶片旋转，

在上述整流板的上表面，形成有以上述旋转中心为中心的同心圆状的多个槽部和在上述各槽部的径向上邻接的多个壁部，

上述多个槽部中第一槽部的外侧面的直径小于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最长距离，并且形成为大于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最短距离，

上述多个槽部中较上述第一槽部靠上述径向内侧形成的第二槽部的外侧面的直径形成为小于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最短距离。

2.如权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

在上述整流板的上表面，从上述第一槽部的上述径向外侧遍及上述整流板的外周，形成达上述整流板的全周的凹部。

3.如权利要求1所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

上述掩模材料成膜工序是在上述整流板的上表面与上述方形晶片的上述第二面之间，以放射状产生从上述径向内侧朝向上述径向外侧的气流而进行。

4.如权利要求3所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

上述多个壁部的高度形成为从上述径向内侧向上述径向外侧逐渐升高。

5.如权利要求3或4所述的压电振动片的制造方法，其特征在于：

上述壁部的上端面成为从上述径向内侧向上述径向外侧变高的倾斜面。

6.一种压电振动片的制造装置，在方形晶片的第一面通过旋涂法来成膜压电振动片外形形成时的掩模材料膜时使用，其特征在于，具备：

旋转卡盘，将上述方形晶片的第二面朝下方保持在晶片保持部的上表面，将自上述方形晶片外缘伸出到外侧的整流板配置在上述晶片保持部的下方，并以上述晶片保持部的中心轴为旋转中心使上述方形晶片旋转，

在上述整流板的上表面，形成有以上述旋转中心为中心的同心圆状的多个槽部和在上述各槽部的径向上邻接的多个壁部，

上述多个槽部中第一槽部的外侧面的直径小于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最长距离，并且形成为大于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最短距离，

上述多个槽部中较上述第一槽部靠上述径向内侧形成的第二槽部的外侧面的直径形成为小于从上述旋转中心到上述方形晶片的上述外缘的最短距离。

7.一种压电振动片，其特征在于：

通过权利要求1至5中任意一项所述的压电振动片的制造方法来制造。

8.一种压电振动器，其特征在于：

具备权利要求7所述的压电振动片。

9.一种振荡器，其特征在于：

权利要求8所述的压电振动器作为振子与集成电路电连接。

10.一种电子设备，其特征在于：

权利要求8所述的压电振动器与计时部电连接。

11.一种电波钟，其特征在于：

权利要求8所述的压电振动器与滤波部电连接。