[发明专利]一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用无效
| 申请号： | 201210065335.2 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN102534496A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 叶飞;侯波;曹善鹏;张文征 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/30;C03C17/22 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅 |
| 地址： | 116024 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种透明导电薄膜及其制备方法，所述的透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。本发明的薄膜在保证薄膜热稳定性(＞300℃)和电阻率(＜10-2Ω·m)的同时降低了生产成本；此薄膜具有镓掺杂浓度低、热稳定性高、抗老化能力强、使用寿命长、原材料价格低廉等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高热 稳定性 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
一种高热稳定性透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。
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