[发明专利]一种高热稳定性透明导电薄膜及其制备方法和应用无效
| 申请号： | 201210065335.2 | 申请日： | 2012-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN102534496A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 叶飞;侯波;曹善鹏;张文征 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/30;C03C17/22 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅 |
| 地址： | 116024 *** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高热 稳定性 透明 导电 薄膜 及其 制备 方法 应用 | ||
【权利要求书】：
1.一种高热稳定性透明导电薄膜，是第III主族元素中的一种和镓共掺杂的氧化锌透明导电薄膜。
2.根据权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的第III主族元素为B，Al或In。
3.根据权利要求1或2所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的第III主族元素中的一种和镓共掺杂总含量为0.5～5at.％。
4.根据权利要求3所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的镓掺杂含量至少为0.5at.％。
5.根据权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜，其特征在于所述的薄膜的电阻率为10-210-4Ω·m，耐热温度为300～600℃。
6.权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜的制备方法，其特征在于所述的方法为电子束蒸发法，其步骤为：
①将氧化锌，氧化镓和第III主族元素的氧化物中的一种混合，压制烧结得到陶瓷靶；其中，第III主族元素中的一种和镓共掺杂总含量为0.5～5at.％；
②清洗并安装玻璃基片，在10-3Pa，250℃，2转/min下通入氩气和氧气的混合气体，开始蒸镀；所述的蒸镀在高压为6kV，电子束流为30mA，蒸镀时间为30min下进行。
7.权利要求1所述的高热稳定性透明导电薄膜在电加热玻璃中的应用。
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