[发明专利]脆性材料基板的分断装置有效
| 申请号： | 201210062905.2 | 申请日： | 2012-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN102730957A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 富永圭介 | 申请（专利权）人： | 三星钻石工业股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B33/02 | 分类号： | C03B33/02 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 日本大阪府吹田*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是有关于脆性材料基板的分断装置，即提供一种能在不反转基板的情形下同时进行划线步骤与分断步骤，以谋求分断系统的合理化的分断装置。其具备装载台(2)、将脆性材料基板(W)于装载台(2)上保持于定位置的保持手段(11)、配置在装载台(2)上方的头部(10)、以及使头部(10)相对脆性材料基板(W)移动的扫描机构，于头部(10)直列配置有用以形成划线(S)的划线工具(31)与产生向上的吸引作用的吸引垫(21)，使头部(10)相对脆性材料基板(W)以划线工具(31)为前导相对移动，来以划线工具(31)于脆性材料基板(W)形成划线(S)，接续于此以后续的吸引垫(21)沿着形成的划线(S)分断脆性材料基板(W)。 | ||
| 搜索关键词： | 脆性 材料 装置 | ||
【主权项】：
一种脆性材料基板的分断装置，其特征在于具备：装载台，装载加工对象的脆性材料基板；保持手段，用以将该脆性材料基板于该装载台上保持于定位置；头部，配置在该装载台上方；以及扫描机构，使该头部相对该脆性材料基板移动；于该头部直列配置有用以形成划线的划线工具与产生向上的吸引作用的吸引垫；借由使该头部相对该脆性材料基板以该划线工具为前导相对移动，据以该划线工具于该脆性材料基板形成划线，接续于此以后续的吸引垫沿着形成的划线分断脆性材料基板。
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