[发明专利]脆性材料基板的分断装置

权利要求书

1.一种脆性材料基板的分断装置，其特征在于具备：

装载台，装载加工对象的脆性材料基板；

保持手段，用以将该脆性材料基板于该装载台上保持于定位置；

头部，配置在该装载台上方；以及

扫描机构，使该头部相对该脆性材料基板移动；

于该头部直列配置有用以形成划线的划线工具与产生向上的吸引作用的吸引垫；

借由使该头部相对该脆性材料基板以该划线工具为前导相对移动，据以该划线工具于该脆性材料基板形成划线，接续于此以后续的吸引垫沿着形成的划线分断脆性材料基板。

2.如权利要求1所述的分断装置，其特征在于其中，该吸引垫具备在其下面侧产生向上的吸引作用的减压空间部、与夹着此减压空间部至少在左右部位喷出向下的空气的喷出孔，借由该吸引垫的减压空间部于划线上进行吸引，同时借由来自该喷出孔的喷出空气按压划线的左右两侧部分，据以分断该脆性材料基板。

3.如权利要求2所述的分断装置，其特征在于其中，该吸引垫具备朝下开口的空气吸引孔，借由来自此空气吸引孔的吸引空气形成该减压空间部。

4.如权利要求2所述的分断装置，其特征在于其中，该吸引垫于下面形成有凹部，该凹部的外周侧侧面形成有多个空气喷出孔，于该凹部中央形成具有以越往下方直径越细的方式形成的圆锥状侧面的圆柱状突部，从该喷出孔吹出的空气撞击该圆锥状侧面后即形成朝下方一边回旋一边下降的回旋下降流，借由当该回旋下降流形成的气旋效果于该凹部中央形成该减压空间部，据此赋予吸引作用。

5.如权利要求1至4中任一项所述的分断装置，其特征在于其中，该保持手段包含形成于该装载台的多个吸附孔或多孔质板，借由来自此吸附孔或多孔质板的吸引空气吸附保持脆性材料基板，此吸附孔或多孔质板的脆性材料基板的吸附力，至少在吸引垫的动作时设定为在容许脆性材料基板的倒V字形弯曲的范围内。