[发明专利]具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置及其应用有效
| 申请号： | 201210061864.5 | 申请日： | 2012-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN102620868A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 方运;王逸群;王玮;朱建军;张永红;张宝顺 | 申请（专利权）人： | 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 苏州慧通知识产权代理事务所(普通合伙) 32239 | 代理人： | 丁秀华 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一种具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置及其应用。该薄膜应力测量装置包括多光束图形发生器以及光束位置探测器，所述多光束图形发生器与所述光束位置探测器互相垂直排布。本发明提高了薄膜应力测量精度，简化了薄膜应力测量装置的光路布局与装调要求，可被广泛应用于在薄膜应力离线测量装置、薄膜沉积设备、材料外延设备等之中。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 结构 薄膜 应力 测量 装置 及其 应用 | ||
【主权项】：
一种具有垂直光路结构的薄膜应力测量装置，包括多光束图形发生器以及光束位置探测器，其特征在于：所述多光束图形发生器与所述光束位置探测器互相垂直排布。
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