[发明专利]一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置

摘要

本发明公开了一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，采用密闭腔作为参考腔，密闭腔里预先冲入工作气体，密闭腔的气体压强通过连接在密闭腔上的压力传感器监控；通过继续充入或微量放气来调节密闭腔的压力到需要值，通过微流量比例控制阀来控制工作气体输入到流动腔的气体流量；流动腔的气体由微流量比例控制阀控制泄放量，密闭腔和流动腔的压强差通过微压差传感器检测；流动腔与密闭腔处于相同的温度下，调节往流动腔补充气体的微流量比例控制阀和控制流动腔气体泄放的微流量比例控制阀，使流动腔的气体压力与密闭腔的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔气体密度稳定的目的。

主权项

一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述的电子控制的流气密度稳定装置采用密闭腔(2)作为参考腔，密闭腔(2)里预先冲入工作气体，密闭腔(2)的气体压强通过连接在密闭腔(2)上的压力传感器(7)监控；一所述的密闭腔(2)安装有调节阀(8)，通过继续充入或微量放气来调节密闭腔(2)的压力到需要值，工作气体通过微流量比例控制阀(1)来控制输入到流动腔(3)的气体流量；‑‑所述的流动腔(3)连接流气式正比计数管的工作腔(5)，流动腔(3)的气体由微流量比例控制阀(6)泄放，密闭腔(2)和流动腔(3)的压强差通过微压差传感器(4)检测；‑‑流动腔(3)与密闭腔(2)处于相同的温度下，通过电子控制回路，调节往流动腔(3)补充气体的微流量比例控制阀(1)和控制流动腔(3)气体泄放的微流量比例控制阀(6)，使流动腔(3)的气体压力与密闭腔(2)的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔(3)气体密度稳定的目的。