[发明专利]一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置

权利要求书

1.一种光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述的电子控制的流气密度稳定装置采用密闭腔(2)作为参考腔，密闭腔(2)里预先冲入工作气体，密闭腔(2)的气体压强通过连接在密闭腔(2)上的压力传感器(7)监控；

一所述的密闭腔(2)安装有调节阀(8)，通过继续充入或微量放气来调节密闭腔(2)的压力到需要值，工作气体通过微流量比例控制阀(1)来控制输入到流动腔(3)的气体流量；

--所述的流动腔(3)连接流气式正比计数管的工作腔(5)，流动腔(3)的气体由微流量比例控制阀(6)泄放，密闭腔(2)和流动腔(3)的压强差通过微压差传感器(4)检测；

--流动腔(3)与密闭腔(2)处于相同的温度下，通过电子控制回路，调节往流动腔(3)补充气体的微流量比例控制阀(1)和控制流动腔(3)气体泄放的微流量比例控制阀(6)，使流动腔(3)的气体压力与密闭腔(2)的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔(3)气体密度稳定的目的。

2.根据权利要求1所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述流动腔(3)与密闭腔(2)处于相同的温度下，通过微处理器或计算机控制软件，调节往流动腔(3)补充气体的微流量比例控制阀(1)和控制流动腔(2)气体泄放的微流量比例控制阀(6)，使流动腔(3)的气体压力与密闭腔(2)的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔(3)气体密度稳定的目的。

3.根据权利要求1或2所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述流动腔(3)与密闭腔(2)处于相同的温度下，通过电子控制回路、微处理器或计算机控制软件，调节往流动腔(3)补充气体的微流量比例控制阀(1)，使流动腔(3)的气体压力与密闭腔(2)的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔(3)气体密度稳定的目的。

4.根据权利要求3所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述流动腔(3)与密闭腔(2)处于相同的温度下，通过电子控制回路、带微处理器或计算机控制软件，控制流动腔(3)气体泄放的微流量比例控制阀(6)，使流动腔(3)的气体压力与密闭腔(2)的气体压力维持为0或设定值，来达到流动腔(3)气体密度稳定的目的。

5.根据权利要求1所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述的流气式正比计数管的工作腔(5)为至少一个流气式正比计数管的工作腔(5)，串联连接。

6.根据权利要求1所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述密闭腔(2)的压力通过绝对压力传感器(7)、调节阀(8)和二通截止阀(9)调节，需要调节密闭腔(2)的压强时，将调压工具与密闭腔二通截止阀(9)连接，打开截止阀(9)，连接气源，可对密闭腔(2)进行充气，充气速率可通过调节阀(8)控制，通过传感器(7)监控密闭腔(2)的压力到需要值。

7.根据权利要求6所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述密闭腔(2)的压力高于工作压力时，先关闭调节阀(8)，断开气源，在传感器(7)的监视下，用调节阀(8)缓慢放气到需要的值。

8.根据权利要求7所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述密闭腔(2)的压力高于工作压力时，先关闭调节阀(8)，断开气源，在传感器(7)的监视下，用调节阀(8)缓慢放气，到需要的值，在一次调节没有达到需要值时，此过程可反复多次，调节好后，将截止阀(9)关闭，移去调压工具。

9.根据权利要求1或6所述的光谱仪的电子控制的流气体密度稳定装置，其特征在于：所述的微流量比例控制阀(6)后面连接流量传感器以监视气体消耗量。