[发明专利]防泄漏保护系统有效
申请号: | 201210057323.5 | 申请日: | 2012-03-06 |
公开(公告)号: | CN102560639A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 颜卫兵;沈理 | 申请(专利权)人: | 浙江宏业新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 317502 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明提供一种防泄漏保护系统,包括真空泵,真空泵分别通过旁路通阀和泵主阀连接多晶炉,管路支路一端与真空泵连接,管路支路另一端分别与两根滑动螺杆连接,起到防泄漏的作用。多晶炉还配合设置隔热门板,隔热门板与滑动螺杆之间设置密封圈,防止空气从隔热门板与滑动螺杆之间进入炉体。防泄漏保压系统通过两种抽真空渠道使多晶炉的密封性得到了双保险,更好地确保多晶炉的生产品质。 | ||
搜索关键词: | 泄漏 保护 系统 | ||
【主权项】:
防泄漏保护系统,包括真空泵(1),其特征在于,真空泵(1)分别通过旁路通阀(2)和泵主阀(3)连接多晶炉(6),管路支路(4)一端与真空泵(1)连接,管路支路(4)另一端分别与两根滑动螺杆(5)连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江宏业新能源有限公司,未经浙江宏业新能源有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201210057323.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半人工养殖东北林蛙的越冬技术
- 下一篇:一种高纯度卡培他滨的制备方法