[发明专利]防泄漏保护系统有效
申请号: | 201210057323.5 | 申请日: | 2012-03-06 |
公开(公告)号: | CN102560639A | 公开(公告)日: | 2012-07-11 |
发明(设计)人: | 颜卫兵;沈理 | 申请(专利权)人: | 浙江宏业新能源有限公司 |
主分类号: | C30B28/06 | 分类号: | C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 317502 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 泄漏 保护 系统 | ||
【权利要求书】:
1.防泄漏保护系统,包括真空泵(1),其特征在于,真空泵(1)分别通过旁路通阀(2)和泵主阀(3)连接多晶炉(6),管路支路(4)一端与真空泵(1)连接,管路支路(4)另一端分别与两根滑动螺杆(5)连接。
2.根据权利要求1所述的防泄漏保护系统,其特征在于,所述多晶炉(6)还配合设置隔热门板。
3.根据权利要求2所述的防泄漏保护系统,其特征在于,隔热门板与滑动螺杆(5)之间设置密封圈。
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