[发明专利]一种曝光机曝光台密合度的测试方法无效
申请号: | 201210055928.0 | 申请日: | 2012-03-06 |
公开(公告)号: | CN102607772A | 公开(公告)日: | 2012-07-25 |
发明(设计)人: | 杨长基 | 申请(专利权)人: | 常熟金像电子有限公司 |
主分类号: | G01M3/02 | 分类号: | G01M3/02;G03F7/20 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 215500 江苏省苏州*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种曝光机曝光台密合度的测试方法,主要包括将尺寸为长宽尺寸比曝光台小0-1寸的空白底片安装于曝光台面上;吸1-5滴水或酒精滴于底片的四角及中间;闭合框架并将其吸成真空;观察水或酒精膜扩散状况,根据水或酒精膜扩散状况,判定框架密合性是否合格,用来监测曝光台面密合度。使用该方法可以克服现有技术对台面真空的监控太单一、笼统,对单点或局部区域漏光监控效果微乎其微的缺点,实现对曝光机曝光台密合性的监控,以便及时点检维护,进而提前预防漏光的产生。 | ||
搜索关键词: | 一种 曝光 合度 测试 方法 | ||
【主权项】:
一种曝光机曝光台密合度的测试方法,其特征在于:a将尺寸为长宽尺寸比曝光台小0‑1寸的空白底片安装于曝光台面上;b吸1‑5滴水或酒精滴于底片的四角及中间;c闭合框架并将其吸成真空;d观察水或酒精膜扩散状况,根据水或酒精膜扩散状况,判定框架密合性是否合格。
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