[发明专利]LED晶圆定位装置有效
| 申请号： | 201210049306.7 | 申请日： | 2012-02-29 |
| 公开（公告）号： | CN103296149A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 柳仁桓;李学杓;杨日灿;李镐仲 | 申请（专利权）人： | LGCNS株式会社;株式会社罗普伺达 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L21/68 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 黄德海 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供一种吸入力被增强，且不用担心LED晶圆的上表面会被接触，可进行安全吸附的LED晶圆定位装置。该LED晶圆定位装置包括定位装置主体和导向部件。定位装置主体根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆；导向部件被配置在所述放出面的下部，使空气能够沿所述放出面移动。其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括单一的中央孔和支撑单元。单一的中央孔被配备在所述导向部件的中央单元，位于与所述放出面对应的部位内；支撑单元被配备为向所述导向部件的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆。因此，可容易地吸附相对来说距离较远的LED晶圆，LED晶圆的上表面接触于导向部件，从而减少由异物污染而产生的劣质问题。 | ||
| 搜索关键词： | led 定位 装置 | ||
【主权项】：
一种LED晶圆定位装置，包括：定位装置主体(10)，其根据向上部提供的空气沿以流线型形成的放出面(11)向两侧的排出来吸附下部的LED晶圆(99)；和导向部件(20)，其被配置在所述放出面(11)的下部，使空气能够沿所述放出面(11)移动，其中，该LED晶圆定位装置的特征在于包括：单一的中央孔(25)，其被配备在所述导向部件(20)的中央单元，位于与所述放出面(11)对应的部位内；和支撑单元(30)，其被配备为向所述导向部件(20)的下部方向突出延伸成一体来支撑所述LED晶圆(99)。
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