[发明专利]半导体精密薄片金刚石砂线切割液及其制备方法有效
| 申请号： | 201210045299.3 | 申请日： | 2012-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN102618376A | 公开（公告）日： | 2012-08-01 |
| 发明（设计）人： | 陆由东;郑虎祥;吴伟峰;蒋勇 | 申请（专利权）人： | 常州君合科技有限公司 |
| 主分类号： | C10M173/02 | 分类号： | C10M173/02;C10M161/00;C10N30/06;C10N30/04;C10N30/12;C10N40/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 贾海芬 |
| 地址： | 213031 江苏省常州市新北区通*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液，其原料由如下质量份数比的组分组成，包括30-80的多元醇、0.01-0.5的氢气抑制剂、0.01-0.5的酸、0.1-1.0的表面活性剂、1.0-10.0的分散剂、0.01-0.5的防腐剂和10-35去离子水；其中：本发明的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1～1∶2的混合物，且聚乙二醇的分子量在100～600之间。本发明具有效抑制氢气产生，润滑作用明显，易于清洗，成本低，性能稳定的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 精密 薄片 金刚石 切割 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体精密薄片金刚石砂线切割液，其特征在于：其原料由如下质量份数比的组分组成，包括![]()
其中：所述的多元醇为丙二醇与聚乙二醇以1～1∶2的混合物，且聚乙二醇的分子量在100～600之间。
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