[发明专利]构件载体和具有这样的构件载体上的MEMS构件的部件有效
申请号: | 201210041782.4 | 申请日: | 2012-02-22 |
公开(公告)号: | CN102649535B | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | J·策尔兰;R·艾伦普福特;U·肖尔茨 | 申请(专利权)人: | 罗伯特·博世有限公司 |
主分类号: | B81B3/00 | 分类号: | B81B3/00;B81C1/00;H04R19/02;H04R19/04;G01L9/06 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人: | 曾立 |
地址: | 德国斯*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提出了一种构件载体,其能够实现具有敏感结构的MEMS构件的成本有利、位置节省且应力较小的封装。构件载体(130)尤其适于应被安装在壳体(120)的空腔中并且被电接通的MEMS构件(10)。根据本发明的构件载体(330)被实现为在一侧敞开的空心体形式的复合件,复合件基本上由在其造型方面柔性的、三维成形的载体膜(331)和包覆材料(332)形成。包覆材料(332)在一侧成型在载体膜(331)上,使得载体膜(331)设置在构件载体(330)的内壁上。在具有载体膜(131)的内壁上构造有用于至少一个构件(10,51)的至少一个安装面。此外,载体膜(331)设有用于所述至少一个构件(10,51)的电接通的接触面和绝缘的印制导线。 | ||
搜索关键词: | 构件 载体 具有 这样 mems 部件 | ||
【主权项】:
构件载体(130),其被安装在壳体(120)的空腔中并且被电接通,所述构件载体(130)被实现为在一侧敞开的空心体形式的复合件,所述复合件(130)基本上由在其造型方面柔性的、三维成形的载体膜(131)和包覆材料(132)形成,所述包覆材料在一侧成型在所述载体膜(131)上,使得所述载体膜(131)设置在所述构件载体(130)的内壁上,在具有所述载体膜(131)的内壁上构造有用于至少一个构件(10,51)的至少一个安装面,以及所述载体膜(131)设有用于所述至少一个构件(10,51)的电接通的接触面和绝缘的印制导线,其特征在于,具有所述载体膜(231)的内壁皿状地成形有至少一个阶梯部(236),使得在所述内壁的不同水平上构造有安装面,其中,所述不同水平从一侧敞开的侧面来布置。
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