[发明专利]构件载体和具有这样的构件载体上的MEMS构件的部件

权利要求书

1.构件载体(130)，其被安装在壳体(120)的空腔中并且被电接通，

所述构件载体(130)被实现为在一侧敞开的空心体形式的复合件，

所述复合件(130)基本上由在其造型方面柔性的、三维成形的载体膜(131)和包覆材料(132)形成，所述包覆材料在一侧成型在所述载体膜(131)上，使得所述载体膜(131)设置在所述构件载体(130)的内壁上，

在具有所述载体膜(131)的内壁上构造有用于至少一个构件(10，51)的至少一个安装面，以及

所述载体膜(131)设有用于所述至少一个构件(10，51)的电接通的接触面和绝缘的印制导线，

其特征在于，

具有所述载体膜(231)的内壁皿状地成形有至少一个阶梯部(236)，使得在所述内壁的不同水平上构造有安装面，其中，所述不同水平从一侧敞开的侧面来布置。

2.根据权利要求1所述的构件载体(130)，其特征在于，所述内壁在上部边缘区域中皿状地成形有至少一个阶梯部(134)，所述至少一个阶梯部用作用于容纳一盖部件(40)的容纳部。

3.根据权利要求1或2所述的构件载体(130)，其特征在于，在所述复合件(130)中构造有一通孔(133)，其用作所述构件(10)的介质进口。

4.根据权利要求1或2所述的构件载体(130)，其特征在于，所述复合件(430)设有电敷镀通孔(437)，所述电敷镀通孔从所述载体膜(431)的接触面或印制导线起穿过所述包覆材料(432)引导到所述复合件(430)的外侧上。

5.根据权利要求1或2所述的构件载体(130)，其特征在于，所述载体膜(131)包括聚酰亚胺膜。

6.根据权利要求1或2所述的构件载体，其特征在于，所述载体膜由多个层组成，并且所述载体膜的层结构包括至少一个金属层，所述至少一个金属层用作所述至少一个构件的电磁屏蔽。

7.根据权利要求1所述的构件载体，其特征在于，所述构件载体用于MEMS构件(10)。

8.用于制造根据权利要求1至7中任一项所述的构件载体的方法，所述构件载体具有在一侧敞开的空心体的形式，

其中，使用至少一个第一模制模具件，其确定所述内壁的形状，并且所述至少一个模制模具件的形状相应于所述构件载体的内壁的所追求的三维形状，以及

其中，使用至少一个第二模制模具件，其确定所述构件载体的外侧的形状，

其特征在于，将一载体膜置于所述第一模制模具件中，以及通过流入的模制流使所述载体膜贴合模具形状，使得所述载体膜在所述模制材料硬化之后至少局部地覆盖所述构件载体的内壁。

9.用于制造根据权利要求1至7中任一项所述的构件载体的方法，所述构件载体具有在一侧敞开的空心体的形式，

其特征在于，

首先产生具有在一侧敞开的空心体形式的塑料成形件，

随后将一载体膜施加到所述内壁上。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，将所述载体膜粘接到所述内壁上。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，通过流体流的作用将所述载体膜成型在所述内壁上。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，通过吸或吹将所述载体膜成型在所述内壁上。

13.部件(100)，其至少包括：

具有至少一个敏感结构(11)的MEMS构件(10)，以及

具有空腔的壳体(120)，所述MEMS构件(10)设置在所述空腔中，

其特征在于，所述部件具有根据权利要求1至7中任一项所述的构件载体(130)，所述构件载体用作壳体部件。

14.根据权利要求13所述的部件(100)，其特征在于，所述构件载体(130)的载体膜(131)延伸至所述壳体(120)的安装侧上并且设有用于所述部件(100)的外部接通的电连接端子(135)。