[发明专利]提供用于夹持阶段的空气区域的系统和方法有效
| 申请号： | 201210040190.0 | 申请日： | 2012-02-20 |
| 公开（公告）号： | CN102642174A | 公开（公告）日： | 2012-08-22 |
| 发明（设计）人： | 蔡蕙婷;巫丰印 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京德恒律师事务所 11306 | 代理人： | 陆鑫;房岭梅 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种系统，包括：夹具，在夹具的第一表面上具有固定环，第一表面和固定环为环形，固定环具有第一内圆周；压盘，具有第二表面，第二表面面向第一表面，并且能够通过操作与第一表面一起移动；以及空气区域，由第一内圆周进行限定，并且提供有效内圆周，有效内圆周与第一内圆周不同。本发明还公开了提供用于夹持阶段的空气区域的系统和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 提供 用于 夹持 阶段 空气 区域 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种系统，包括：夹具，在所述夹具的第一表面上具有固定环，所述第一表面和所述固定环为环形，所述固定环具有第一内圆周；压盘，具有第二表面，所述第二表面面向所述第一表面，并且能够通过操作与所述第一表面一起移动；以及空气区域，由所述第一内圆周进行限定，并且提供有效内圆周，所述有效内圆周与所述第一内圆周不同。
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