[发明专利]一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法有效
| 申请号： | 201210038873.2 | 申请日： | 2012-02-21 |
| 公开（公告）号： | CN102534519A | 公开（公告）日： | 2012-07-04 |
| 发明（设计）人： | 邓自南;淡新国;郭让民;侯军涛;李明强;郭磊;丁旭;张清;李辉;吕利强;马宏旺 | 申请（专利权）人： | 西安瑞福莱钨钼有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22F1/18 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710201 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，该方法为：一、在常规方法压制和烧结的钼板坯表面均匀涂刷抗氧化涂层；二、将涂刷有抗氧化涂层的钼板坯用钢包套包覆；三、对包覆有钢包套的钼板坯进行一火次的轧制，然后置于冷床上冷却；四、将冷却后的钼板坯轧制至厚度为19mm～24mm(含钢包套)；五、将轧制的钼板坯进行校平处理，去除钢包套，切割，得到半成品钼板；六、将半成品钼板进行真空热处理，得到LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板。采用本发明的方法制备的LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板板面平整，密度不小于10.15g/cm3，显微组织为均匀等轴晶组织，平均晶粒尺寸不大于200μm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lcd 平板 显示器 溅射 靶材用大 尺寸 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：步骤一、在常规方法压制和烧结的尺寸为55mm～130mm×600mm～800mm×800mm～1000mm的钼板坯表面均匀涂刷抗氧化涂层；所述抗氧化涂层为玻璃粉、有机粘结剂和水按照8～10∶1∶8～10的质量比混合而成的浆料；所述有机粘结剂为水玻璃；步骤二、将步骤一中涂刷有抗氧化涂层的钼板坯用厚度为10mm～20mm的钢包套包覆；步骤三、将步骤二中包覆有钢包套的钼板坯加热至1300℃～1400℃后进行一火次的轧制，然后将轧制后的钼板坯置于冷床上冷却；所述轧制的道次加工率为15％～30％，轧制总加工率为50％～60％；步骤四、将步骤三中冷却后的钼板坯加热至900℃～1050℃，然后将加热后的钼板坯轧制至厚度为19mm～24mm；所述轧制的道次加工率为10％～25％；步骤五、将步骤四中经轧制的钼板坯加热至850℃～950℃后进行校平处理，然后去除钼板坯的钢包套，对去除钢包套的钼板坯进行切割，得到厚度为14mm～18mm，宽度为1000mm～1800mm，长度为1300mm～2200mm的半成品钼板；步骤六、将步骤五中所述半成品钼板在温度为1100℃～1400℃的条件下进行真空热处理，得到厚度为14mm～18mm，宽度为1000mm～1800mm，长度为1300mm～2200mm的LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板。
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