[发明专利]一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法

说明书

技术领域

本发明属于溅射靶材用钼板制备技术领域，具体涉及一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法。

背景技术

厚度14mm～18mm，宽度1000mm～1800mm，长度1300mm～2200mm的大尺寸钼板可用于加工4.5代线～6代线LCD平板显示器溅射靶材。此类钼板技术要求较高，其中密度要求不小于10.15g/cm³，显微组织要求为均匀等轴晶组织，平均晶粒尺寸不超过200μm，板面要求平整。常规小尺寸钼板的轧制方法为氢气保护加热，直接轧制。但大尺寸钼板所需坯料重量较大，常规氢气炉无法进行加热；另一方面由于坯料重量和成品尺寸较大，按公知的轧制方法所需轧制力较大，常规钨钼轧机无法进行轧制；而宽幅轧机辊道较长，若直接加热轧制，钼坯降温严重，势必导致轧制开裂。对大规格钼坯料而言，按公知的轧制工艺，无法保证轧制钼板成品热处理后得到均匀的等轴晶组织。

发明内容

本发明所要解决的技术问题在于针对上述现有技术的不足，提供一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法。该方法采用涂刷抗氧化涂层和钢包套包覆的方式，解决了加热和轧制过程中的氧化问题，出炉和轧制过程中坯料温降严重的问题，同时降低钼板轧制力，保证了轧制顺利进行；轧制过程中通过控制第一火次轧制的总加工率为50％～60％，并在第一火次轧制完毕后将轧件置于冷床上进行快速冷却，可防止热轧开坯后显微组织的不均匀长大和再结晶，得到变形均匀的加工组织，最终制备的钼板具有尺寸均匀的等轴晶组织。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是：一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：

步骤一、在常规方法压制和烧结的尺寸为55mm～130mm×600mm～800mm×800mm～1000mm的钼板坯表面均匀涂刷抗氧化涂层；所述抗氧化涂层为玻璃粉、有机粘结剂和水按照8～10∶1∶8～10的质量比混合而成的浆料；所述有机粘结剂为水玻璃；

步骤二、将步骤一中涂刷有抗氧化涂层的钼板坯用厚度为10mm～20mm的钢包套包覆；

步骤三、将步骤二中包覆有钢包套的钼板坯加热至1300℃～1400℃后进行一火次的轧制，然后将轧制后的钼板坯置于冷床上冷却；所述轧制的道次加工率为15％～30％，轧制总加工率为50％～60％；

步骤四、将步骤三中冷却后的钼板坯加热至900℃～1050℃，然后将加热后的钼板坯轧制至厚度为19mm～24mm(含钢包套)；所述轧制的道次加工率为10％～25％；

步骤五、将步骤四中经轧制的钼板坯加热至850℃～950℃后进行校平处理，然后去除钼板坯的钢包套，对去除钢包套的钼板坯进行切割，得到厚度为14mm～18mm，宽度为1000mm～1800mm，长度为1300mm～2200mm的半成品钼板；

步骤六、将步骤五中所述半成品钼板在温度为1100℃～1400℃的条件下进行真空热处理，得到厚度为14mm～18mm，宽度为1000mm～1800mm，长度为1300mm～2200mm的LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板。

上述的一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，步骤一中所述玻璃粉由以下重量百分比成分组成：75％二氧化硅，20％三氧化二硼，2％三氧化二铝，2％氧化锌，余量为氧化钾。

上述的一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，步骤一中所述抗氧化涂层的涂刷厚度为1.5mm～2.5mm。

上述的一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，步骤二中所述钢包套的材质为Q235钢板或45#钢板。

上述的一种LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板的制备方法，步骤六中所述真空热处理的处理时间为2h～4h。

本发明与现有技术相比具有以下优点：

1、本发明采用涂刷抗氧化涂层和钢包套包覆的方式，解决了加热和轧制过程中的氧化问题；解决了出炉和轧制过程中坯料温降严重的问题；采用包套轧制可降低钼板轧制力，保证了轧制顺利进行。

2、本发明通过控制第一火次轧制的总加工率为50％～60％，并在第一火次轧制完毕后将轧件置于冷床上进行快速冷却，可防止热轧开坯后显微组织的不均匀长大和再结晶，得到变形均匀的加工组织，最终制备的钼板具有尺寸均匀的等轴晶组织。

3、采用本发明的方法制备的LCD平板显示器溅射靶材用大尺寸钼板板面平整，密度不小于10.15g/cm³，显微组织为均匀等轴晶组织，平均晶粒尺寸不大于200lam。