[发明专利]晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置

摘要

一种晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，包括石英管，石英管上设有进气管、出气管，石英管内设有放置硅片的石英舟，石英管内设有固定石英舟的支撑台，支撑台放置在一横向螺杆上，横向螺杆横向穿过石英管，横向螺杆的外端通过齿轮箱连接有步进电机，横向螺杆上设有位于支撑台两侧的限位块；支撑台的底端面支撑有穿过石英管的纵向螺杆，纵向螺杆的外端通过齿轮箱连接步进电机，齿轮箱、步进电机均固定在固定架上。本发明通过在石英管内加装动作机构的方法，实现气态磷源的动态扩散，可以使硅片做上下左右的微小移动，从而改变气体流场的流向，使得硅片上沉积的磷源全面均匀。

主权项

一种晶体硅太阳能电池气体动态扩散装置，包括石英管（1），石英管（1）上设有进气管（2）、出气管（3），石英管（1）内设有放置硅片（5）的石英舟（4），其特征是：所述石英管（1）内设有固定石英舟（4）的支撑台（7），支撑台（7）放置在一横向螺杆（9）上，横向螺杆（9）横向穿过石英管（1），横向螺杆（9）的外端通过齿轮箱（11）连接有步进电机（12），横向螺杆（9）上设有位于支撑台（7）两侧的限位块（9‑1）；所述支撑台（7）的底端面支撑有穿过石英管（1）的纵向螺杆（10），纵向螺杆（10）的外端通过齿轮箱（11）连接步进电机（12），所述齿轮箱（11）、步进电机（12）均固定在固定架（13）上。